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中芯国际迎来了久违的好消息：可从阿斯麦（ASML）订购12亿美元的光刻机。

订购12亿美元光刻机

3月3日晚间，中芯国际披露，公司于2月1日与阿斯麦（ASML）上海签署了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议，将采购协议的限期延伸一年至2021年12月31日。凭据批量采购协议，公司已就购置用于生产晶圆的阿斯麦产物（即光刻机）与阿斯麦团体签署购置单，订单金额12亿美元。

阿斯麦（ASML）即荷兰阿斯麦，是全球最大的半导体装备制造商之一，主要营业为光刻机的研发和生产，在全球处于绝对领先职位。详细来看，ASML在45nm以下制程的高端光刻机市场中占有85%的份额；在EUV（极紫外）光刻机领域则处于绝对垄断职位，市场占有率100%。

现在，ASML的EUV光刻机主力出货型号是3400B，价钱约1.2亿美元，其最新款的3600D定于2021年中旬出货交付。

是否包罗EUV光刻机？

众所周知，EUV光刻机是生产5nm芯片必不可缺的装备。那么，中芯国际此次12亿美元的采购协议都有哪些类型的光刻机，包罗EUV光刻机吗？

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记者从业内资深人士处领会到，除了EUV光刻机，中芯国际险些可以买到其他所有型号的光刻机，包罗DUV（深紫外）光刻机。

此前，ASML的CFO在财报集会的视频采访中示意：若是宽泛地明白相关规则对AMSL的整体意义，ASML将能够从荷兰向中国客户（包罗中芯国际）提供DUV光刻系统，且无需出口许可证。不外，若是涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统，ASML则需要为此申请出口许可证。

在DUV光刻机方面，ASML的最新一代产物型号是NXT 2050i。公然资料显示，ASML于2020年第三季度对第一台TWINSCAN NXT 2050i进行了质量认证，并于第四季度初发货。由于对掩模版工作台、晶圆工作台、投影物镜和曝光激光器的手艺改善，NXT2050i提供了比其前身更好的套刻精度控制，具有更高的生产率。

公然报道显示，ASML的上一代DUV产物NXT2000i光刻机，光刻精度可以到达1.9nm，远低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。

第一季度营收预计超10亿美元

在近期接受机构调研时，中芯国际团结首席执行官赵水师示意，现在公司依然是满载运营，预计今年第一季度营收会回到10亿美元以上。

此前，中芯国际预计，2021年整年营收获长在中到高个位数。

产能紧缺已经成为半导体业内共识。赵水师示意，公司会继续扩产，预计12英寸月产能增添1万片， 8英寸月产能增添不少于4.5万片，但由于装备采购周期长，预计扩产产能对今年营收孝敬不大。